过滤精度≥1.5 nm（0.0015 μm） PTFE 膜滤材 / 内件PTFE 滤膜；支撑 PFA；O 圈 FEP 包覆氟橡胶壳体电抛光 VIM/VAR 316L 不锈钢；VCR 版本内壁 Ra ≤0.13 μm（5 μin）过滤面积13.5 cm²接口1/4" VCR 外螺纹‑外螺纹（垫片密封）总长84 mm（3.31 in）最大工作压力20.7 MPa（3000 psig）@121℃正向最大压差0.55 MPa（80 psi）@21℃反向最大压差0.34 MPa（50 psi）@21℃氦检漏100% 检测：10⁻⁹ atm・cm³/s；设计验证 10⁻¹¹ atm・cm³/s适用介质高纯惰性、特种工艺气体；仅限气体，禁止液体
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