过滤精度≥1.5 nm(0.0015 μm)PTFE 膜Pall Corpo...滤材PTFE;中心支撑 / 端盖 PFA;O 型圈 FEP 包覆氟橡胶Pall Corpo...壳体电抛光 316L 不锈钢;卡套版本内壁 Ra ≤0.5 μm(20 μin)Pall Corpo...过滤面积13.5 cm²接口1/4" 卡套(Swagelok 兼容),外‑外长度73 mm(2.88 in)最大工作压力20.7 MPa(3000 psig)@121℃正向最大压差0.55 MPa(80 psi)@21℃反向最大压差0.34 MPa(50 psi)@21℃氦检漏100% 检测:10⁻⁹ atm・cm³/s;设计验证 10⁻¹¹ atm・cm³/sPall Corpo...适用介质高纯惰性气体、特种工艺气体;不可用于液体