日期:2026-07-19 22:34
价格:100/个
型号:GSP515H3FF33
品牌:MOTT
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公司:佰熹流体技术（上海）有限公司
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姓名:刘工(先生)
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传真:18879063187
地址:上海市奉贤区奉城镇
邮编:201400
邮件:doudian230430@163.com
详细介绍
过滤精度：可捕捉低至 0.003m 颗粒，MPPS（0.08m）过滤效率 9 LRV（99.9999999%），SEMI F38 认证；
耐压耐温：最大工作压力 2500 psig（172 bar），惰性气体最高耐温 450℃；最大压差 500 psid；
介质适配
GSP515Hxx：哈氏合金，适配 HCl、Cl₂、WF₆、硅烷等卤素腐蚀特气；
GSP51511xx：PENTA 镍，通用各类电子特种气体；
GSP51533xx：316 不锈钢，仅 N₂/Ar/He 惰性大宗气体；
洁净工艺：筒体内壁 5Ra 超低电抛光，Class100 洁净室出厂封装，全氩弧焊接无有机密封圈，氦检泄