日期:2026-07-19 22:24
价格:99/个
型号:GSP3752FF11
品牌:MOTT
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联系方式
公司:佰熹流体技术（上海）有限公司
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姓名:刘工(先生)
电话:18879063187
手机:18879063187
传真:18879063187
地址:上海市奉贤区奉城镇
邮编:201400
邮件:doudian230430@163.com
详细介绍
拦截精度：最小捕捉 0.0015m（1.5 纳米） 颗粒
过滤效率 LRV：9 个对数级（99.9999999%），按 SEMI F38 标准在 0.08m 最易穿透粒径验证
氦检泄漏率：110⁻⁹ atm・cc/s，超高纯气路零渗漏
洁净度指标
水汽释放＜10ppb（1 小时常温吹扫）
总碳氢 THC 低于检出限
无颗粒物脱落（SEMI F43 测试）
四、压力、温度、流量参数
最大入口工作压力：3000 psig（206.8 bar）
最大允许压差：500 psid（34.5 bar，正反双向承压）
工作温度
惰性气体：-196℃ ~ 4