高亮度LED的等离子刻蚀方案
日期:2011-11-29 13:57
状态:待解决
提问:ningcuidi
技术都提供了一个固定试样驱动台，独立等离子源可实现高等离子密度，而不会增加试样的DC偏差。DC偏差已被证明可增加敏感表面的等离子损伤，所以这是一个至关重要的系统特性。
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07/26 23:47