日期:2011-11-29 13:57
状态:待解决
提问:ningcuidi
有完美的晶格匹配，光提取会因为有两个平行的反射面而减少。未来解决这两个问题，从2005年起一些公司就在生长之前就在蓝宝石上刻蚀了图形。这可以使一个成品器件的光提取性能改善98%以上。
蓝宝石是一种非常稳定的物质，熔点在2054度，因此难以进行等离子刻蚀。不过，在降低到通常的150度之前，用来实现非常具体的图案形成的光阻仍有一个温度上限。PR是这个过程选择的掩膜，最终的圆顶状依赖于所有掩膜去除的完成，其形状与蓝宝石和掩膜的相对刻蚀速率密切相关。由于简化了生产流程，降低每流明的整体成本，PR也成为了首选。
为
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