日期:2011-11-11 17:06
状态:待解决
提问:zenghuiping
今天来探讨LED外延片的成长工艺，早期在小积体电路时代，每一个6寸的外延片上制作数以千计的芯片，现在次微米线宽的大型VLSI，每一个8寸的外延片上也只能完成一两百个大型芯片。外延片的制造虽动辄投资数百亿，但却是所有电子工业的基础。
硅晶柱的长成，首先需要将纯度相当高的硅矿放入熔炉中，并加入预先设定好的金属物质，使产生出来的硅晶柱拥有要求的电性特质，接着需要将所有物质融化后再长成单晶的硅晶柱，以下将对所有晶柱长成制程做介绍：
长晶主要程式：
1、融化（MELtDown）
此过程是将置放于石英坩锅内
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