日期:2011-11-03 11:21
状态:待解决
提问:ergongda
选择主要取决于以下九个方面：
1、结构特性好，外延材料与衬底的晶体结构相同或相近、晶格常数失配度小、结晶性能好、缺陷密度小
2、界面特性好，有利于外延材料成核且黏附性强
3、化学稳定性好，在外延生长的温度和气氛中不容易分解和腐蚀
4、热学性能好，包括导热性好和热失配度小
5、导电性好，能制成上下结构
6、光学性能好，制作的器件所发出的光被衬底吸收小
7、机械性能好，器件容易加工，包括减薄、抛光和切割等
8、价格低廉
9、大尺寸，一般要求直径不小于2英寸。
衬底的选择
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