日期:2011-09-26 12:44
状态:待解决
提问:sunyuming
itioning的减低。
主要有三大技术优势：首先，在不同的线宽与线谱密度下，均可产生low-dishing及no-erosion.其次，高铜研磨速率（highCurate）、晶圆表面铜的清除能力（clearing）、更具有对于阻绝层（barrierfilms）与介电层（dielectricfilms）的极高选择比；此外，高良率、严格的Rs控制、高产能、以及宽大的制程窗口也是优势之一。
陶氏电子是于1897年在美国密西根州创立，1968年在台湾成立台北办事处，目前在台湾还有四个生产基地分别位于桃园、新竹竹南、南投南岗以及嘉义民雄；另于屏东有一陶氏益农试验中心。2009年，陶
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