δc、PΔq；
2、传感器：检测原理：电感式测量范围：400μm 针尖半径：5μm 针尖材料：金刚石触针测力：4mN 触针角度：90°
3、最大驱动行程：19mm
4、量程和分辨力
量程 分辨力
±25μm 0.001μm
±200μm 0.008μm
5、波方式：2RC、GAUSS；
6、取样长度：0.08mm，0.25mm，0.8mm，2.5mm；
7、评定长度：1L~5L（可选，L为取样长度）
8、示值误差：±10%
9、示值重复性：≤ 6%
10、工作环境：温度：0℃ ~ 40℃ 温度：0℃ ~ 40℃ 湿度：< 90% RH
11、外形尺寸及重量：主机：155.4 mm×75 mm×53mm mm，约580g 驱动器：120.5 mm×2