压:4-6Kg/cm2:;
3, 温度范围:室温~350℃;
4, 上气缸行程:150/200mm;
5, 下气缸行程:100mm(可双向调节);
6, 扩张面积:120/270cm2;
7, 外型尺寸:270x220x820mm(长x宽x高);
8, 机器重量:20Kg
四, 操作步骤:
1,插上电源,气管快速接头接上高压气管;2,打开电源开关,将温度设定于75℃(不同晶片膜温差异士5℃);3,将上气缸开关拨至上升位置,上压模回至最上方,将下气缸开关拨至下降位置,下压模回至最下方(反复几次下气缸动作,将上升速度调整至适合速度)4,松开锁扣,掀起上工件板,先将扩晶环内环放于下压模