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- 过滤精度：可捕捉低至 0.003μm 颗粒，MPPS（0.08μm）过滤效率 9 LRV（99.9999999%），SEMI F38 认证；
- 耐压耐温：最大工作压力 2500 psig（172 bar），惰性气体最高耐温 450℃；最大压差 500 psid；
- 介质适配
- GSP515Hxx：哈氏合金，适配 HCl、Cl₂、WF₆、硅烷等卤素腐蚀特气；
- GSP51511xx：PENTA 镍，通用各类电子特种气体；
- GSP51533xx：316 不锈钢，仅 N₂/Ar/He 惰性大宗气体；
- 洁净工艺：筒体内壁 5Ra 超低电抛光，Class100 洁净室出厂封装，全氩弧焊接无有机密封圈，氦检泄漏≤1×10⁻⁹ atm・cc/s；
- 可再生：氮气高温烘烤、反向吹扫再生，原厂 5 年质保。
