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- 拦截精度：最小捕捉 0.0015μm（1.5 纳米） 颗粒
- 过滤效率 LRV：≥9 个对数级（99.9999999%），按 SEMI F38 标准在 0.08μm 最易穿透粒径验证
- 氦检泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s，超高纯气路零渗漏
- 洁净度指标
- 水汽释放＜10ppb（1 小时常温吹扫）
- 总碳氢 THC 低于检出限
- 无颗粒物脱落（SEMI F43 测试）
四、压力、温度、流量参数
- 最大入口工作压力：3000 psig（206.8 bar）
- 最大允许压差：500 psid（34.5 bar，正反双向承压）
- 工作温度
- 惰性气体：-196℃ ~ 450℃
- 腐蚀性电子特气：≤200℃
- 额定流量：最大 20 SLPM（标准升 / 分钟，氮气 @100psig 压差）
- 清洗再生：可高温烘烤、氮气反吹再生，使用寿命 5 年（原厂质保）